演講主題&摘要

矽基化學濾網再生性能研究

對於先進半導體廠來說，每年傳統化學濾網(使用活性碳吸附材)的更換量驚人，且當室內VOC濃度須控制在極低數值的狀態下，化學濾網的使用壽命將急遽的降低。


用完後產生的活性碳廢棄物，處理困難 (理費用~30,000 NTD/公噸)，部分使用在無重金屬汙染的活性碳可以使用完之後，再拿去廢水回收處理，但先進半導體製程中所使用的化學濾網，其吸附的汙染物成分非常複雜，再生使用反而會造成二次汙染。開發可再生且使用環保吸附材，取代原化學濾網，產生的回收再生效益高。例如:對於各廠房無塵室外氣空調系統(MAU)所使用的濾筒，台灣一年使用超過50萬支，而假設濾料及空筒均可回收再使用，以一支濾筒的濾料約3-4公斤來計算，每年可以大幅減少約2000公噸廢棄物產生。


透過風道測試 (參照 ISO 10121 & 符合ISO 29464:2011&JIS B 9901-1997) 本研究確認矽基化學濾網對於低分子量、低沸點MC類污染物，在去除效率不小於80%時已具一季(三個月)左右的吸附能力，滿足研究目標。另素矽基化學濾網材吸附能力可達百次，而本研究所使用之同批材料均使用至少八次以上，亦驗證其反覆多次使用能力，遠勝傳統活性碳吸附材。