漢民科技股份有限公司許金榮總經理、台積電新廠工程處莊子壽處長以及國立台灣大學高科技廠房設施研究中心主任張陸滿教授，過去分別在學術界及產業界累積多年經驗，深感於台灣國內產業間單兵戰鬥之困境，半導體製程中的設備及材料仍十分倚賴國外進口，國內沒有如同國際間有產業聯盟做建廠驗證等等服務。台灣的確需要一個組織來整合潛在之能量、有效運用資源，提升台灣高科技廠房設施及設備之關鍵技術，厚植台灣高科技廠房設施之產業競爭力。

 

而此願景，並獲得台積電副董事長曾繁城、旺宏電子董事長吳敏求、建邦創投董事長胡定華、漢民科技董事長黃民奇、清華大學科管院教授史欽泰、工研院院長徐爵民、工研院協理蔡新源、采鈺科技執行長林俊吉、聯電資深處長高慶揚等等的支持，並推薦參加SEMI Taiwan 組織。再經SEMI台灣暨東南亞地區總裁曹世綸等管理階層全力支持並配合籌組，而此間，聯電前董事長曹興誠也情義相挺，共襄盛舉。此外，當時SEMI台灣轄下之六大委員會涵蓋半導體及其他高科技相關產業，獨缺廠房設施相關主題，正好符合本願景之目標，於是便計畫於SEMI之下組織一個委員會。

 

起始先由結合產、學界的資源及力量開始，召集會員；經過半年之籌備期，出乎預料得到45家公司及學術單位的熱烈響應，成功籌組「SEMI Taiwan 高科技廠房設施委員會」。委員會於102年10月3日成立大會中正式成立。當天有來自晶圓代工、半導體製造設備供應商、半導體製造材料供應商、營建工程業及學術研究單位共45家、64位代表參與，是SEMI台灣區委員會中之冠。

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半導體高科技廠房廠設計與監造能力的提升對產業未來的發展與競爭力提升極為重要。台灣做為全球電子業製造重鎮，多年來早已居全球高科技產業領導地位，更需透過提高高科技廠房設施之技術層次，突破關鍵技術之瓶頸，以提昇國際競爭力、永續實力，及奠定其後續研發之基礎。​SEMI 台灣高科技廠房設施委員會是在SEMI組織下全世界第一個談廠務系統技術之委員會，由學術界挹注研發能量，並透過SEMI擁有全球電子業製造設備及材料會員的資源，結合國內高科技廠家、建築師、設計顧問、營造廠、設施營運維修專家…等等共同合作。期許經由本委員會的推動及互相合作，台灣的廠商有能力走出台灣至國際舞台，不斷成長並參與國際技術標準制定，以期協助臺灣高科技產業持續向上提升，在國際間站穩高科技產業之領先地位。 

 

為在未來更多元的發展來提昇台灣高科技廠房設施產業之技術，在SEMI Taiwan的祝福下，原先在SEMI台灣高科技廠房設施委員會之核心產學研團體，包含40位發起人和來自高科技廠房業主、學術機構、研發單位、建築師、工程顧問公司、營造廠、設備材料供應商等72家科技指標發起團體，共同到台灣內政部申請成立「台灣高科技廠房設施協會」(Taiwan High-Tech Facility Association)。於2021年12月17日在國立台灣大學竹北分部碧禎館舉辦成立大會，協會未來將協助台灣高科技產業打造更具競爭力的廠房設施，並持續與SEMI合作，互補互成，攜手守護和提升台灣高科技及其廠房設施產業，並共同協力促進高科技廠務上下游產業之鏈結，使台灣高科技廠房設施產業更具國際競爭力，協會迄今一共137間團體會員。